- Title
- 鈦氮與鈦鋁氮薄膜的電性及擴散屏障之效應
- Creators - without role
- 正士 陳坤龍 林正恭 杜 - 國立清華大學工學院材料科學工程學系
- Publication Details
- 中國材料科學學會材料會訊 中國材料科學學會材料會訊, Vol.4(3), pp.55-64
- Identifiers
- 9957767017806774
- Academic Unit
- National Tsing Hua University
- Resource Type
- Book chapter
Book chapter
鈦氮與鈦鋁氮薄膜的電性及擴散屏障之效應
中國材料科學學會材料會訊 中國材料科學學會材料會訊, Vol.4(3), pp.55-64
09/1997
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