- Title
- CMOS MEMS Z 軸微加速度計與電容感測電路之整合及實現
- Creators - without role
- 佳暐 林育齊 康榮順 陳 - 國立清華大學工學院動力機械工程學系建宏 林
- Publication Details
- 第十四屆奈米工程暨微系統技術研討會 第十四屆奈米工程暨微系統技術研討會
- Identifiers
- 9957771582906774
- Academic Unit
- Department of Power Mechanical Engineering, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Conference paper
Conference paper
CMOS MEMS Z 軸微加速度計與電容感測電路之整合及實現
第十四屆奈米工程暨微系統技術研討會 第十四屆奈米工程暨微系統技術研討會
2010
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