- Title
- 串聯電極之大位移梳狀靜電致動器
- Creators - without role
- 帝光 侯國瑋 黃菁儀 黃克敏 廖榮順 陳 - 國立清華大學工學院動力機械工程學系哲良 葉
- Identifiers
- 9957773966806774
- Academic Unit
- Department of Power Mechanical Engineering, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Conference paper
- Publication Details
- 2005 奈米工程暨微系統技術研討會 2005 奈米工程暨微系統技術研討會
Conference paper
串聯電極之大位移梳狀靜電致動器
2005 奈米工程暨微系統技術研討會 2005 奈米工程暨微系統技術研討會
2005
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