- Title
- 串聯電極梳狀式靜電致動器之電容感測器與控制器設計
- Creators - without role
- 陳祥 張帝光 侯榮順 陳 - 國立清華大學工學院動力機械工程學系
- Publication Details
- 中國機械工程學會第二十三屆學術研討會 中國機械工程學會第二十三屆學術研討會
- Identifiers
- 9957774933206774
- Academic Unit
- Department of Power Mechanical Engineering, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Conference paper
Conference paper
串聯電極梳狀式靜電致動器之電容感測器與控制器設計
中國機械工程學會第二十三屆學術研討會 中國機械工程學會第二十三屆學術研討會
2006
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