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串聯電極順序驅動之大位移梳狀靜電致動器之控制
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串聯電極順序驅動之大位移梳狀靜電致動器之控制

國瑋 黃, 帝光 侯, 榮順 陳 and 陳祥 張
中國機械工程學會第二十二屆學術研討會 中國機械工程學會第二十二屆學術研討會
2005

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