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二氧化矽薄膜之熱傳導係數與溫度效應之影響
Conference paper

二氧化矽薄膜之熱傳導係數與溫度效應之影響

達仁 饒, 威志 賴 and 恆傑 簡
第十一屆奈米工程暨微系統研討會
08/2007

Abstract

二氧化矽;熱傳導係數

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