Abstract
目前硬膜材料的厚度已小於100奈米,因此奈米尺度的磨潤特性在近年來受到極大重視。為了分析硬膜的均勻性及磨潤特性,具有奈米解析度的定量摩擦力測量技術便極為所需,而具有摩擦力測量功能的原子力顯微術,或稱為摩擦力顯微術,便符合此項需求。本文介紹定量摩擦力測量技術,並測量矽探針與氮化鈦及類鑽碳兩種硬膜的摩擦係數。此外也以探針在樣品表面上來回掃描數十至上百次,造成表面磨耗,然後比較表面形貌改變,藉此了解硬膜的奈米磨潤特性。
- Title
- 以摩擦力顯微術研究硬膜材料奈米磨潤特性
- Translated title
- Study of Nanotribological Properties of Hard Coating Materials by Friction Force Microscopy
- Creators - without role
- 欣瑜 林右儒 陳祖賢 谷鶴南 林 - 國立清華大學工學院材料科學工程學系友清 方山 童
- Identifiers
- 9957777463106774
- Academic Unit
- Department of Materials Science and Engineering, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Conference paper
- Publication Details
- 科儀新知 科儀新知, (145), pp.61-67