- Title
- 利用原子力顯微術在聚甲基丙烯酸甲酯薄膜上製作微影圖案
- Creators - without role
- 俊羽 林鶴南 林 - 國立清華大學工學院材料科學工程學系
- Identifiers
- 9957776840106774
- Academic Unit
- Department of Materials Science and Engineering, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Conference paper
- Publication Details
- 2003年材料科學會論文集 2003年材料科學會論文集
Conference paper
利用原子力顯微術在聚甲基丙烯酸甲酯薄膜上製作微影圖案
2003年材料科學會論文集 2003年材料科學會論文集
2003
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