- Title
- 利用原子力顯微術量測PZT薄膜之d33壓電係數
- Creators - without role
- 恕德 何品任 陳鶴南 林 - 國立清華大學工學院材料科學工程學系諭男 林
- Publication Details
- 2001年材料科學年會論文集 2001年材料科學年會論文集, pp.3-79
- Identifiers
- 9957768965306774
- Academic Unit
- Department of Materials Science and Engineering, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Conference paper
Conference paper
利用原子力顯微術量測PZT薄膜之d33壓電係數
2001年材料科學年會論文集 2001年材料科學年會論文集, pp.3-79
2001
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