Abstract
原子力顯微術(Atomic Force Microscopy,AFM)是目前應用廣泛的奈米表面分析技術,不過除了檢測之用外,也可控制 AFM 探針與樣品間的交互作用,使樣品表面發生改變,這也就是 AFM奈米加工。本文簡介我們目前的研究成果,包括：(一)以接觸力製作奈米金屬結構；(二)以電場氧化,製作奈米氧化物結構,及應用於奈米碳管選區成長；(三)以電場極化鐵電薄膜,製作奈米極化區；(四)以電場產生場發射電流,於電子阻劑上製作奈米結構。
- Title
- 原子力顯微術於奈米加工之應用
- Creators - without role
- 如宏 許鶴南 林 - 國立清華大學工學院材料科學工程學系
- Identifiers
- 9957774100706774
- Academic Unit
- Department of Materials Science and Engineering, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Conference paper
- Publication Details
- 物理雙月刊 物理雙月刊, Vol.25(5), pp.620-631