Abstract
原子力顯微術(Atomic Force Microscopy,AFM)是目前應用廣泛的奈米表面分析技術,不過除了檢測之用外,也可控制AFM 探針與樣品間的交互作用,使樣品表面發生改變,這也就是AFM奈米加工。本文簡介我們目前的研究成果,包括：(一)以接觸力製作奈米金屬結構；(二)以電場氧化,製作奈米氧化物結構,及應用於奈米碳管選區成長；(三)以電場極化鐵電薄膜,製作奈米極化區；(四)以電場產生場發射電流,於電子阻劑上製作奈米結構。
- Title
- 原子力顯微術於奈米微影之應用
- Creators - without role
- 欣瑜 林效賢 林健順 廖名輝 曾鶴南 林 - 國立清華大學工學院材料科學工程學系
- Publication Details
- 2005奈米國家型科技計畫成果發表會壁報論文集 2005奈米國家型科技計畫成果發表會壁報論文集, p.409
- Identifiers
- 9957770743306774
- Academic Unit
- Department of Materials Science and Engineering, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Conference paper