- Title
- 垂直梳狀致動微掃瞄鏡之分析與控制
- Creators - without role
- 興宜 鍾榮順 陳 - 國立清華大學工學院動力機械工程學系
- Publication Details
- 2004 奈米工程暨微系統技術研討會 2004 奈米工程暨微系統技術研討會
- Identifiers
- 9957773501506774
- Academic Unit
- Department of Power Mechanical Engineering, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Conference paper
Conference paper
垂直梳狀致動微掃瞄鏡之分析與控制
2004 奈米工程暨微系統技術研討會 2004 奈米工程暨微系統技術研討會
2004
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