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氧化鎳奈米結構製作及其應用於奈米碳管選區成長
Conference paper

氧化鎳奈米結構製作及其應用於奈米碳管選區成長

信文 賴, 如宏 許, 鶴南 林, 佳智 莊 and 金花 黃
科儀新知 科儀新知, (136), pp.54-60
2003

Abstract

原子力顯微術奈米氧化,具有奈米級解析度、適用樣品廣泛、可於大氣環境下操作等優點,近年來發展迅速,備受矚目。本文介紹於鎳薄膜表面進行奈米氧化,製作氧化鎳奈米結構,再以化學蝕刻去除鎳,然後利用氧化鎳作為觸媒模板,達成選區成長奈米碳管。

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