- Title
- 退火對TaN-(Ag,Cu)奈米複合薄膜之結構及機械性質之影響
- Creators - without role
- 章興 謝瑩潔 林舜揚 洪守一 張 - 國立清華大學工學院材料科學工程學系
- Identifiers
- 9957771781806774
- Academic Unit
- Department of Materials Science and Engineering, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Conference paper
- Publication Details
- TACT-2010台灣鍍膜科技協會年會 TACT-2010台灣鍍膜科技協會年會論文集, pp.62-62
Conference paper
退火對TaN-(Ag,Cu)奈米複合薄膜之結構及機械性質之影響
TACT-2010台灣鍍膜科技協會年會 TACT-2010台灣鍍膜科技協會年會論文集, pp.62-62
2010
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