- Title
- 電感式耦合電漿化氣相沉積法低溫成長氮化鋁
- Creators - without role
- 永振 林正賢 周念華 戴 - 國立清華大學工學院材料科學工程學系金花 黃諭男 林
- Identifiers
- 9957776831006774
- Academic Unit
- Institute of Analytical and Environmental Sciences, College of Nuclear Science, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Conference paper
- Publication Details
- 中國材料科學學會 中國材料科學學會
Conference paper
電感式耦合電漿化氣相沉積法低溫成長氮化鋁
中國材料科學學會 中國材料科學學會
2003
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