- Title
- 靜電式微機電元件電容感測電路之設計、模擬與實現
- Creators - without role
- 明儒 李揚哲 陳榮順 陳 - 國立清華大學工學院動力機械工程學系
- Publication Details
- 中國機械工程學會第二十五屆學術研討會 中國機械工程學會第二十五屆學術研討會
- Identifiers
- 9957768049306774
- Academic Unit
- Department of Power Mechanical Engineering, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Conference paper
Conference paper
靜電式微機電元件電容感測電路之設計、模擬與實現
中國機械工程學會第二十五屆學術研討會 中國機械工程學會第二十五屆學術研討會
2008
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