A silicon microspeaker for hearing aids applications

Dissertation

Ming-Cheng Cheng

Doctor of Philosophy (PHD), 國立清華大學, 電機工程學系

2003

Abstract

微揚聲器

電磁驅動

微致動器

聚亞醯鞍薄膜

低應力氮化矽

微機電系統

microspeaker

electromagnetic actuation

microactuator

polyimide membrane

low stress nitride

MEMS

在本論文中，我們設計、製作及量測矽微加工揚聲器。輕、薄、便宜的微小揚聲器在助聽器及手機的應用上有許多需求，本論文的目的是利用微機電系統的技術來開發積體化電磁式矽微揚聲器。利用半導體的製程優點包括可批次量產，使元件成本得以降低、並避免傳統加工組裝的困難，此外於製作時，控制電路可以整合在同一晶圓上。

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