Abstract
異質磊晶成長，其提供了製作各種不同功能薄膜材料的可行性。本論文探討如何藉由模版的輔助，高品質的磊晶薄膜與奈米晶體可成功的成長於適當的基板上。從異質磊晶成長來看，模版的輔助可視為一緩衝層的作用，即削減因為基板與薄膜間晶格不匹配所造成的影響。此外，模版亦可視為一形成三維奈米物質系統的承載表面。此論文揭露了如何利用單晶氮化矽模版與氮化鋁薄的”coincident match”特性所組成的雙緩衝層以成長高品質的氮化鎵薄膜於矽基板上，且在高溫成長時，此模版亦可抑制鎵/矽與鋁/矽的相互擴散，以避免自動摻雜的情況且提高薄膜品質。另外，利用氮電漿(N2 Plasma)來氮化在單晶氮化矽模版上形成的鎵液滴(droplet)，亦可成長尺寸與形狀受控的氮化鎵奈米晶體。