Abstract
本論文研究主要重點為三個方向：第一是設計與製作以二氧化矽材料為主的光波導被動元件，藉此吸取積體光通訊元件之基本理論、量測、設計及製程經驗；第二是光波導主動元件之材料研究，由於主動元件大多以單晶材料作為基板本研究希望能經由適當緩衝層材料(鈦酸鍶)的成長，使具有鈣鈦礦結晶相的鋯鈦酸鉛，成長於非晶系材料(二氧化矽)基板上，並有良好的結晶及光學性質；第三是以結晶之鋯鈦酸鉛及鈦酸鍶材料系統，在非晶系材料基板上製作光波導主動元件，以了解主被動元件設計及製程之差異性，並向主被動元件整合的目標邁進一步。