Abstract
本研究將設計一圓柱週期梳型結構，並利用數值解析及軟體模擬的方法來求解出此結構之色散關係，並求出系統內之電場分佈趨勢。此系統是以共振腔體設計，並操作在π模共振點，相較於其他共振模式，在相同之微波功率下，π模共振能夠產生最強之電場，使能量使用效率達到最高。圓柱梳型結構能激發出電漿中之表面波，產生電場極大值，使得高電漿密度得以達成。而藉由均勻分布式耦合及微波傳送區與電漿產生區分離的理念達成，將可使微波能量以圓柱面的方式展開，如此可將微波能量有效使用於激發電漿上，並且可提高製程效率。因此，本論文將可作為一高產量(隨週期結構數增加)、均勻度佳，且高密度之電漿源設計組裝之參考。