Abstract
這篇論文的主旨在於研究一種新型的多微波源電漿反應器。 電漿是由六個脈衝型微波源在不同的位置以間隔1/360秒的時間發射2.45GHz脈衝微波(pulsed microwave)所激發產生的。微波的脈衝寬度約為1/300秒。每個微波源以WR284波導管將微波垂直送入電漿反應器的不同區域，每個不同的區域構成獨立的表面波結構，藉由高頻電磁波結構模擬器(HFSS)的輔助設計，可以優化每個獨立表面波結構中的TM21模態，再藉由傳輸線理論，並以電漿的等效阻抗來代表電漿的行為，於是可以計算TM21模態所激發的電漿密度，此計算結果將與實驗量測值比較。在實驗量測方面，這篇論文提出一種時間定序方法量測電漿密度，此方法是以磁控管陽極電流作為外部觸發信號，從而作時間定序，也就是藉由具有週期性的磁控管陽極電流，標定出每個週期(1/60秒)的時間參考座標，然後針對每個週期之內的各個時間點，以藍姆(Langmuir)探針量取電漿的電流-電壓特性曲線，從而得出隨著時間變化的電漿特性參數，其中包括電漿密度、電漿溫度、電漿均勻度以及電子能量分布函數(EEDF)。將電漿密度的量測值取其時間平均值並與理論值作比較，發現之間具有相當程度的近似。在研究中也發現電漿溫度與脈衝型微波源的脈衝振幅有關，並且高能量分布的電子數目較多，此現象與單一微波源連續波(CW)電漿不盡相同。