多重真空微感測器整合之晶圓級製程平台的開發與實現

Dissertation

多重真空微感測器整合之晶圓級製程平台的開發與實現

鄭鈞文

Doctor of Philosophy (PHD), 國立清華大學, 動力機械工程學系

2016

Abstract

微機電製程整合平台

加速度計

陀螺儀

磁力計

微機械共振器

派朗尼壓力計

MEMS process Platform

Accelerometer

Gyroscope

Magnetic Sensor

MEMS Resonators

Pirani gauge

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Details

Title: 多重真空微感測器整合之晶圓級製程平台的開發與實現
Translated title: 多重真空微感測器整合之晶圓級製程平台的開發與實現
Creators: 鄭鈞文
Contributors: 方維倫 (Advisor)
Awarding Institution: 國立清華大學, 動力機械工程學系; Doctor of Philosophy (PHD)
Theses and Dissertations: Doctor of Philosophy (PHD), 國立清華大學, 動力機械工程學系
Language: Traditional Chinese
Resource Type: Dissertation
Date published: 2017