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微型核磁共振系統積體微線圈之研製
Dissertation

微型核磁共振系統積體微線圈之研製

Hsieh, Cheng-Yu
Doctor of Philosophy (PHD), 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所
2010

Abstract

微線圈 高深寬比製程 核磁共振影像 Microcoil High-aspect-ratio process Magnetic resonance image
本論文之主要研究目的為開發可應用於微型化之核磁共振系統之關鍵零組件。傳統核磁共振系統包含了超導磁鐵、射頻放大訊號放大器、商用光譜儀、射頻探頭等元件。本研究所提出之微型化系統使用等級N42之銣鐵硼(NdFeB)材料組裝成永久磁鐵代替超導磁鐵,以及晶片化射頻放大器,和使用微製程所製造之射頻線圈及梯度線圈探頭。 本論文主要著重於射頻線圈和梯度線圈等關鍵元件之微型化設計與製造。微型化之射頻和梯度線圈使用多層高深寬比之金屬微製程技術所製造,在此微線圈中並製作一微流體通道使液體樣品流過。此微型射頻線圈之電阻值為0.7歐姆而在核磁共振實驗中量測得到的氫原子譜線寬度為350 Hz。本論文之研究結果顯示出利用上述之關鍵元件以實現微型化核磁共振系統之可行性。

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