Logo image
改良兩溫區水平布氏長晶法的模擬研究
Dissertation

改良兩溫區水平布氏長晶法的模擬研究

謝明勳
Doctor of Philosophy (PHD), 國立清華大學, 動力機械工程學系
1993

Abstract

水平布氏 砷化鎵 浮力 表面張力 濃度 Horizontal Bridgman GaAs Buoyance Thermocapillary Concentration
改良兩溫區水平布氏長晶法為近代用於成長大型單晶的重要方法,具有重 新調整成份結構和缺陷少的優點。本文萶著有限差分法模擬改良兩溫區水 平布氏長晶法的成長機制,採用三維、時變的動量方程式,能量方程式和 添加矽的質傳方程式。以熱焓模式來修正相變化過程中的動量和能量方程 式以符合物理現象。利用SIMPLE 數值方法計算晶液的流場和溫度場,所 預測的固液界面形狀與實驗結果相符。浮力和表面張力在本文中被詳細探 討,且得知表面張力的作用只局限表面,地球表面上對固液界面影響很少 ,因此研究改良兩溫區水平布氏長晶法時,可忽略表面張力的作用。本文 亦討論尺寸大小對長晶過程的影響和在爐子上方開視窗的影響,在定性上 可提供長晶者操作的訊息。此外,計算所得添加物、矽的濃度分布也和實 驗相互吻合。且簡化的平衡式即可近以實驗值,在容許的誤差下,可省略 解全套質傳方程式。

Metrics

1 Record Views

Details

Logo image