Abstract
在本篇論文中，我們成功的合成了兩類型之金屬錯合物，分別為鈷與銅金屬，並探討其在化學氣相沉積實驗之應用。 利用六氟戊酮亞胺或六氟-2-丙醇氨作為配位基與氯化鈷進行反應，可成功的得到一系列具有高度穩定性、高產率的化合物。選用化合物1b、6b利用簡易型熱壁式化學氣相沉積裝置進行薄膜的沉積，可成功的製作出鈷金屬或氧化鈷的薄膜；利用1,1,1,4,4,4-六氟-2,3-二(三氟甲基)-2,3-丁二醇 (PFP) 作為配位基與氯化銅反應，可以得到具有可自身還原能力的二價銅金屬錯合物8b，利用熱裂解實驗，分析裂解後所生成的化合物，可證明此一特殊現象；在化學氣相沉積實驗中，8b可成功地在氬氣與氫氣環境下製備出銅金屬薄膜，為克服其揮發性不佳的缺點，並設計出可液化化學氣相沉積裝置 (DLI-CVD, direct liquid injection CVD)，來製備銅金屬薄膜。