Abstract
提升太陽能電池效率的研究中，我們參考過去的期刊，利用硝酸浸泡的方式，在太陽能電池表面生成氧化層以做表面鈍化。進一步的研究探討與實驗中，我們發現硝酸鈍化的應用，會大大提升太陽能電池的效率，效率比沒有利用硝酸鈍化的太陽能電池高2%絕對值。且高溫與低溫的硝酸鈍化，對於太陽能電池的效率有非常大的影響，低溫的硝酸鈍化與高溫硝酸鈍化效率相差到0.23%。最後元件的RTA時間優化後，效率可以又提高0.11%，到達14.21%。 硝酸鈍化進一步衍生出的研究，為硝酸鈍化的生成氧化層的優化。我們了解由於硝酸鈍化所形成的氧化層中，帶了少許的水氣與其他雜質，其會造成元件的不穩定與表面缺陷的產生。論文中我們加入一道製程在硝酸鈍化完後，送入通入氫氣的爐館，利用其高溫去除水氣與氫氣的修補，使太陽能電池的效率與穩定度做進一步的提升。論文中量測發現，此法可以將太陽能電池的effective lifetime(EL)由~17μsec提高到~27μsec。 論文中另一主題，我們利用離子佈植的技術，在最佳化的實驗裡，有效的控制N+層的厚度與濃度梯度，我們找到最適當的離子佈値參數，使得太陽能電池的效率比使用擴散的方式所做出來P-N Junction的太陽能電池(表面結構為平面的)高上1.4%。再利用forming gas annealing(FGA)和silicon nitride passivation(SNP)的技巧，試圖去降低在離子佈值中所造成的缺陷，結果我們使太陽能電池的整體效率再提高~1%，效率到達15.26%，比一般傳統太陽能電池利用爐管擴散方式的效率提高了2.27%。