穿透切割膜檢驗晶圓切割道微隱裂隙之光學系統研究

Dissertation

穿透切割膜檢驗晶圓切割道微隱裂隙之光學系統研究

林聖峯

Doctor of Philosophy (PHD), 國立清華大學, 動力機械工程學系

2015

Abstract

光學系統

光學儀器設計

光學檢驗

紅外成像

散射,粗糙表面

散射,瑞立

Optical systems

Optical design of instruments

Optical inspection

Infrared imaging

Scattering, Rough surfaces

Scattering, Rayleigh

因申請專利緣故，資料延後公開

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Details

Title: 穿透切割膜檢驗晶圓切割道微隱裂隙之光學系統研究
Translated title: 穿透切割膜檢驗晶圓切割道微隱裂隙之光學系統研究
Creators: 林聖峯
Contributors: 羅丞曜 (Advisor)
陳政寰 (Advisor)
Awarding Institution: 國立清華大學, 動力機械工程學系; Doctor of Philosophy (PHD)
Theses and Dissertations: Doctor of Philosophy (PHD), 國立清華大學, 動力機械工程學系
Language: Traditional Chinese
Resource Type: Dissertation
Date published: 2016