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鈦在矽(111)表面上的初始反應之研究
Dissertation

鈦在矽(111)表面上的初始反應之研究

許薰丰
Doctor of Philosophy (PHD), 國立清華大學, 材料科學工程學系
2003

Abstract

掃描式電子顯微鏡 穿透式電子顯微鏡 同步輻射 矽(111)-7x7 矽化物 初始反應 半導體 STM TEM Synchrotron radiation Si(111)-7x7 silicide titanium initial stage semiconductor
隨著電子元件縮小至奈米尺寸,金屬與矽基材的初始反應對其界面性質的影響扮演相當重要的角色。本研究利用掃描穿隧式電子顯微鏡(scanning tunneling microscopy, STM)、低能量電子繞射(low energy electron diffraction, LEED)、同步輻射紫外光光電子能譜(synchrotron radiation ultraviolet photoemission spectroscopy, SR-UPS)及穿透式電子顯微鏡(transmission electron microscopy, TEM)研究鈦在矽(111)-7×7表面上的初始反應。

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