Abstract
本篇論文一開始主要是設計一個高效率的作用腔(Applicator)，然後再以此作用腔來做材料的加熱實驗。因此分成兩個部分，第一部分為半橢圓共振腔的模擬與設計，從偶合孔(coupling hole)、離心率(eccentric rate)和模態(mode)的選擇談起，討論為何做這樣選擇的目的與好處，而因為微波源的頻率是固定的，然而在微波加熱的過程中，頻率是一直飄移的，因此最後設計再加一個調頻的機制，使頻率固定在微波源的操作頻率-2.45GHz。第二部分為實驗，在實驗的過程中，發現直接加熱PZT薄膜是不可行的，因此需要輔助加熱的物質，在此篇論文中是選擇SiC來做輔助加熱的物質，而在實驗上我們也發現SiC確實增加了作用的效果，而我們希望這種混合加熱(Hybrid Heating)的方法，能有效的使材料發生燒結(Sintering)的效果。