Abstract
因申請專利緣故，資料延後公開
- Title
- AlCrNbSiTi/(AlCrNbSiTi)50N50 濺鍍多層膜之開發
- Translated title
- AlCrNbSiTi/(AlCrNbSiTi)50N50 濺鍍多層膜之開發
- Creators
- 黃琇郁
- Contributors
- 葉均蔚 (Advisor)
- Awarding Institution
- 國立清華大學, 材料科學工程學系; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, 國立清華大學, 材料科學工程學系
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2015