Abstract
利用薄面電阻測量以及穿透式顯微鏡術研究BF2+分子離子佈植經退火處理後之缺陷微細結構分析。缺陷特性之決定為本研究主題。所得結果與硼離子佈植之退火處理後微細結構比較，其差異之成因為氟離子之化學效應以及由加速氟離子之輻射損傷所成。
- Title
- BF2佈植微細結構缺陷研究
- Translated title
- BF2佈植微細結構缺陷研究
- Creators
- 吳逸蔚 (Author)
- Contributors
- 陳力俊 (Advisor)
- Awarding Institution
- National Tsing Hua University; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, National Tsing Hua University
- Resource Type
- Thesis
- Language
- English