Abstract
本論文主要是要建立一套簡化的CMOS製程,其中包含了製測結構,元件測試結構,電路測試結構,以及SEM結構等等;並使用 Stepper及相關的儀器設備在三個月內完成製程及量測的訓練.本篇論文包含光罩設計,元件製作,簡單量測介紹及檢測分析等部分;對於如何設計光罩,元件的製程到利用對測試結構及基本元件的特性量測,初步鑑定元件的好壞,有著深入淺出的介紹;可做為國內半導體製程訓練的教材.
- Title
- CMOS及相關測試元件之設計製作與量測
- Translated title
- CMOS及相關測試元件之設計製作與量測
- Creators
- 朱則榮 (Author)
- Contributors
- 甘炯耀 (Advisor)
- Awarding Institution
- National Tsing Hua University; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, National Tsing Hua University
- Resource Type
- Thesis
- Language
- English