Abstract
在本論文中探討以射頻濺鍍機(RF Sputter)製作硫化鋅緩衝層.並使用X-ray繞射分析儀,吸收光譜儀,能量散射光譜儀和掃描式電子顯微鏡分析薄膜晶體結構,光學性質,化學組成,表面形貌.發現在濺鍍條件為濺鍍功率100瓦,基板溫度150度,工作壓力70毫托時硫化鋅薄膜具有好的結晶和光學性質並同時具有閃鋅礦和纖鋅礦結構.實驗結果顯示在硫化鋅薄膜中的氧含量有助於薄膜的結 晶.硫化鋅薄膜在可見光區域有很高的穿透率大於90%.能隙值約為3.5 eV這顯示硫化鋅在太陽電池的應用上是一種適合的材料.