Abstract
因申請專利緣故，資料延後公開
- Title
- (CrNbSiTaZr)CxNy多元碳氮化物薄膜之結構與性質研究
- Translated title
- (CrNbSiTaZr)CxNy多元碳氮化物薄膜之結構與性質研究
- Creators
- 許凱閔
- Contributors
- 林樹均 (Advisor)
- Awarding Institution
- 國立清華大學, 材料科學工程學系; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, 國立清華大學, 材料科學工程學系
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2016