(CrNbSiTiZr)1-x-yCxNy薄膜結構及性質之研究

Thesis

(CrNbSiTiZr)1-x-yCxNy薄膜結構及性質之研究

簡君翰

Masters, 國立清華大學, 材料科學工程學系

2016

Abstract

濺鍍

薄膜

硬質薄膜

多層薄膜

銑刀

磨耗

碳化物

氮化物

碳氮化物

sputtering

coating

hard coating

multi-layer

carbide

wear

nitride

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Details

Title: (CrNbSiTiZr)1-x-yCxNy薄膜結構及性質之研究
Translated title: (CrNbSiTiZr)1-x-yCxNy薄膜結構及性質之研究
Creators: 簡君翰
Contributors: 林樹均 (Advisor)
Awarding Institution: 國立清華大學, 材料科學工程學系; Masters
Theses and Dissertations: Masters, 國立清華大學, 材料科學工程學系
Language: Traditional Chinese
Resource Type: Thesis
Date published: 2017