Abstract
Czochralski長晶法過程中，污染物會經由流體載送擴散掉入長晶熔液中，影響晶體中摻雜物的濃度、破壞晶體結構，造成晶圓成品品質不良。 本文採用數值方法模擬長晶爐流場的分佈情形，研究長晶爐幾何形狀對流場的影響，試著改變長晶爐淨化筒(purge tube)的設計，希望能減少回流區的產生，有效將污染物排出。結果顯示改良後的淨化筒能有效減少回流區，而C型淨化筒效果又比B型淨化筒好。
- Title
- Czochralski長晶爐流場之數值模擬分析
- Translated title
- Czochralski長晶爐流場之數值模擬分析
- Creators
- 余礎宇 (Author)
- Contributors
- 許文震 (Advisor)
- Awarding Institution
- National Tsing Hua University; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, National Tsing Hua University
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2002
- Language
- English