Abstract
本論文以射頻磁控濺鍍系統及電子槍蒸鍍系統製備氧化銦鋅薄膜及氧化銦錫薄膜與銀薄膜之(Glass/IZO/Ag)、(Glass/ITO/Ag)及(Glass/Ag)全方位反射鏡(ODR)，旨在探討不同厚度的IZO及ITO對Glass/IZO/Ag及Glass/ITO/Ag ODR結構的反射率影響，與Glass/Ag試片比較並與理論模擬計算結果進行驗證。量測結果顯示，測得的ODR反射率變化趨勢與理論模擬的反射率變化趨勢一致。另外，探討內容為經300℃、400℃、500℃爐管時效退火前後之紅光(624 nm)反射率、薄膜片電阻的熱穩定性。研究結果顯示，300℃爐管時效退火後的反射率幾乎沒有改變。經400℃時效退火後，ITO的厚度為70 nm及111 nm、IZO的厚度為80 nm及120 nm的反射率會上升以外，其餘ITO 32 nm及IZO 40 nm試片則沒有改變。而經500℃時效退火後，所有試片因為覆蓋在表面的銀薄膜會有凝聚破孔的現象而造成反射率下降，其中Glass/Ag的凝聚破孔現象最嚴重。另外，經300℃、400℃退火後之薄膜片電阻都略微下降，但是變化甚小。而在500℃退火後Glass/Ag之片電阻已經量測不到，而另外六組則略有上升。綜合而言，Glass/IZO/Ag與Glass/ITO/Ag在經過300℃與400℃時效退火後的光反射率及片電阻具有相當良好的熱穩定性。另外，IZO在退火後的載子濃度變少，而光學直接能隙及間接能隙都變小，造成光吸收邊界向低能側移動而使得ODR光反射率會有紅位移現象。ITO在退火後的載子濃度變多，而光學直接能隙及間接能隙都變大，將光吸收邊界朝高能側移動使透光區段加大而造成ODR光反射率會有藍位移現象。