Abstract
本文主要分為三大部分，分別為簡介、自動控制的相關理論及實例操作的部份，在簡介的部份中，簡單的介紹了半導體的製程，及本篇論文的研究目的，而在自動控制的相關理論□，主要是介紹一個現在常用的控制程序，以及提出一個更一般化的控制程序，而在實例操作的部份，則以德積半導體公司所提供的兩筆資料，利用第二部份所提出的程序，實際下去作一些模擬，並得到一些結論• 本文所得到的結果是，如果未控制誤差傾向於隨機誤差，則在控制中應該加上管制界限，如果未控制誤差並非傾向於隨機誤差，則不應加上管制界限•
- Title
- IC製程中線寬的回饋控制
- Translated title
- IC製程中線寬的回饋控制
- Creators
- 蘇哲嶔 (Author)
- Contributors
- 許文郁 (Advisor)
- Awarding Institution
- National Tsing Hua University; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, National Tsing Hua University
- Resource Type
- Thesis
- Language
- English