Abstract
本論文主要探討TFT-LCD玻璃基板-康寧7059玻璃的腐蝕機構。所採用的腐蝕液包括HCl，H2SO4，NaOH，HF，HNO3， etching ITO，etching Cr，etching Al，Develop等九種。由腐蝕時間與重量損失的關係，可知玻璃對酸鹼的抗蝕性，其中又以HF與etching ITO對7059玻璃侵蝕最為嚴重。另外，利用傅利葉轉換紅外光譜儀(FT-IR)來獲知玻璃經酸鹼腐蝕後表面鍵結的改變，發現除HF以外的酸性腐蝕液，玻璃表面均發生離子置換(ion exchange)，而後網狀分解(network dissolution)，至於HF因腐蝕性太強，故與鹼性腐蝕相像，直接產生網狀分解。又根據OM照片，通常酸性腐蝕液均先使玻璃表面產生裂痕，而後整面剝落；鹼性腐蝕液與HF則使玻璃表面直接剝落，不產生裂痕。從a-step與AFM知玻璃表面的平整度隨著腐蝕時間而劣化。另外，TFT-LCD係在玻璃基板上沈積非晶矽薄膜（amorphous silicon），因此基材表面需先以酸鹼清洗，去除玻璃表面的雜質。故本論文亦討論清洗條件對非晶矽薄膜的影響，發現除玻璃表面有影響外，鍍膜方式亦對薄膜性質有影響。