Abstract
傳統EWMA回饋控制器通常採用固定折扣因子來對製程進行批次控制(run by run control)，也就是利用製程前一批量產出值之表現，用 加權方式來對下一批量投入變數作調整，以求製程產出值能達到目標值。針對生產製程為multiple input-multiple output (MIMO) 模型下，若採用較小的固定折扣因子，雖可確保製程的漸近收斂性質，但往往需要較長的批量數才使製程產出達到目標值，這對現今晶圓代工產業「多樣少量」的生產型態，將會造成極高的重製成本。為克服此缺失，本文利用變動折扣因子的觀念來調整製程，在要求有限批量之總均方差(total Mean Square Error) 極小化的限制下，建構出最適變動折扣因子控制器。最後，本文將從總均方差之觀點，來討論此控制器與固定MEWMA 控制器 (Tseng, et al., 2002) 之執行效能比較。