Abstract
利用磁控式濺鍍系統鍍製Pb(Zr0.5Ti0.5)O3 (PZT) 和Pt 奈米複合薄膜，並研究其微結構和電性之關係及建立模型。分別利用層狀成長法與共鍍法製作出不同結構的奈米複合鐵電薄膜，並探究兩者的性質。我們發現加入奈米白金顆粒於PZT薄膜中有增強其極化反轉的特性，改善薄膜的鐵電特性並使介電常數值增加。 我們提出了一個模型（局部電場放大效應）來解釋奈米白金顆粒的影響效果，並藉由電腦數值模擬來了解白金顆粒於薄膜內部所造成的電場放大情形，了解微觀結構和電性相互影響的作用，並進一步闡敘局部電場放大效應的成因及其應用性。