Abstract
鉬╱砷化鎵具有很高的能障高度，而且甚至在６００℃時不會有任何合物的產生。但是在４５０℃以上時，鉬薄膜即會開始有剝落的現象。因此，假如黏滯問題得以解決，則鉬也許可以被利用在高溫時當作蕭基能障。另則，鈀╱砷化鎵接觸亦具有很高的能障高度，但在２５０℃時即開始起了反應而增加了黏滯性但卻導致在高溫時能障的變差。而從鉬一鈀相圖得知鉬在鈀中具有很大的溶解度。所以藉由鈀插入層期望得以改善鈀與砷化鎵的黏滯問題，而且由於鉬的合併使得在高溫下能障不致變差。本研究為探討不同厚度的鈀插入層對鉬╱鈀╱砷化鎵的界面反應也同時被加以研究。利用SEM 觀察表面形態。以X－ray鑑定相的形成。以EDAX分析表面相組以及元素分佈。以AES 觀察界面擴散情形。而I－V特徵曲線同時也與予量測。由於鉬與砷化鎵的膨脹係數的不同，當溫度升高時，鉬在表面產生破裂的現象。而鉬在砷化鎵的黏滯性也因為鈀層的插入而得以改善。界面反應的化合物隨著溫度的改變而改變。在高溫下，砷會堆積在鉬╱砷化鎵的表面，且由於鈀層的插入，會有更多的砷堆積在外表上。而增加鈀插入層的厚度時，表現出蕭基特性的溫度範圍變得更寬。