Abstract
稀土-過渡合金薄膜是目前最被廣泛使用的磁光記錄媒體材料。本實驗已成功地利用磁控式濺鍍系統在(100)矽基板及康寧玻璃上濺鍍具有垂直異向性之 SiNx / TbFeCo / SiNx 多層磁光薄膜。 實驗過程除了探討製程參數如總壓對薄膜中Tb/Fe/Co合金比例、微觀結構、磁性質的影響之外；更設計不同膜層結構觀察兩層記錄層間的交互耦合效應；另外，經由實驗結果發現介電層應力狀態會對磁性質，尤其是垂直異向性產生作用，若介電層為壓應力，則記錄層的垂直異向性會加強，反之，若為張應力，記錄層異向性會變差，改變了介電層只作為提供記錄層保護的觀念。 最後，本實驗介紹了一種方法來製作彼此互相隔離的(isolate)記錄位元，經由原子力顯微鏡於探針施加電壓的方式，成功的對記錄層進行局部氧化，依據記錄層氧化後磁性質尤其是異向性改變的材料特性，創造出彼此獨立的記錄位元，並且希望利用磁力顯微鏡進行觀察。 記錄媒體