Abstract
批次控制是針對IC製程之特殊生產型態所發展出來的製程回饋控制工具。一般而言，由於投入變數可調整之範圍很窄，因此製程之投入-產出模型，大多用一靜態線性模型來描述之。然而實際製程之投入-產出模型應與時間有關之動態模型。因此，在兩種最常見的動態模型之假設下，若採用傳統的EWMA回饋控制器來對投入變數做微調機制時，本文分別探討此控制器的穩定條件並決定其最佳折扣因子等決策問題，最後，本文亦進行敏感度分析，來探討動態模型中參數變動對TMSE之影響。
- Title
- Single EWMA 控制器在動態模型下之績效分析
- Translated title
- Single EWMA 控制器在動態模型下之績效分析
- Creators
- 林資程 (Author)
- Contributors
- 曾勝滄 (Advisor)
- Awarding Institution
- National Tsing Hua University; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, National Tsing Hua University
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2004
- Language
- English