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Study of the thermal conductivity for single indium oxide nanowire
Thesis

Study of the thermal conductivity for single indium oxide nanowire

洪健淋
Masters, 國立清華大學, 材料科學工程學系
2009

Abstract

氧化銦 奈米線 thermal conductivity indium oxide nanowire
本論文主要研究單根單晶結構的氧化銦奈米線之熱傳導係數。藉由電子束微影的技術和反應式離子蝕刻機台的幫助,單根氧化銦奈米線成功地懸掛在二氧化矽的基板上;而熱傳導係數的量測則是藉由(3ω method)所量測。 此單根奈米線的電阻率為5.38 × 10-3 Ω-cm,和之前文獻上的報導相比是最好的,推測是由於合成過程中產生的氧缺陷所致。熱傳導係數的結果顯示,其值會隨著溫度的上升而下降;計算結果指出聲子是此單根奈米線熱傳導的主要載子。對此單根奈米線做了後續退火的實驗發現,其熱傳導係數比原始的結果還要高,這是因為退火後造成電阻上升及缺陷減少所致。

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