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Synthesis and Characterization of Single CuOx Nanowire Resistive Random Access Memory
Thesis

Synthesis and Characterization of Single CuOx Nanowire Resistive Random Access Memory

梁凱迪
Masters, 國立清華大學, 材料科學工程學系
2013

Abstract

電阻式記憶體 奈米線
本論文根據氧化銅奈米線探討電阻轉換的現象,藉由一維奈米尺寸的微觀材料分析,提出可能的阻態轉換機制。 本論文的第一部份利用規則排列的奈米多孔性陽極氧化鋁薄膜(Anodic Aluminum Oxide;AAO)作為模板,以脈衝電鍍法的方式合成銅奈米線陣列,然後將其在氧環境下加溫氧化,製備出大規模且具有一致性的氧化銅奈米線(nanowire)陣列,並在單根氧化銅奈米線元件發現無極性(nonpolar) 的電阻轉換特性,其高低阻值比(on/off ratio)大於103,低操作電壓(< 2.5 V),可連續操作50次循環,值得一題的是,此一奈米線元件不需額外的電致形成操作(electroforming),具有潛力發展成奈米線電阻式記憶體元件。 第二部分則嘗試將化學液相合成的銅奈米線於大氣室溫環境下,藉由電性操作直接氧化並發現雙極性(bipolar)的電阻轉換現象,根據數據統計結果發現造成氧化的電流密度落在特定範圍,顯示此一方法具有重複再現的可能,其高低阻值比大於103,低操作電壓(< 1 V),可連續操作100次循環,未來希望可以調控氧化阻態,並應用在銅奈米線陣列,達到可選區直接氧化的目標。

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