Abstract
本研究的目的為研究鋯-銅-銀-鋁金屬薄膜的非晶和結晶相對於機械性質及腐蝕性質的影響。利用非平衡磁控濺鍍系統，並且使用兩種不同的鍍膜溫度：室溫和400℃，非晶和結晶的金屬薄膜成功地鍍著於p型(100)矽晶片和304不□鋼基材上。 本研究指出非晶和結晶相對於機械性質和腐蝕性質的影響最為明顯。在機械性質方面，擁有t-CuZr2和o-Cu10Zr7結晶相的金屬薄膜呈現較高的硬度。此外，殘留應力的部分，在非晶和結晶的金屬薄膜都是拉伸應力。由於結晶金屬薄膜有較大的熱應力和晶粒成長結合產生的應力，因此呈現較大的殘留應力。在防蝕性質方面，利用動態極化掃描，並將試片置於1N H2SO4+ 0.05 KSCN的試驗溶液中，可以獲得金屬薄膜的本質腐蝕性質以及對於304不□鋼的防蝕能力。非晶和結晶相金屬薄膜的本質腐蝕電位分別為-12.1和47.4 mVSCE，腐蝕電流為0.04和3.22μA/cm2。透過鍍著非晶或結晶相金屬薄膜，304不□鋼的防蝕能力明顯地改善，而且非晶相薄膜的防蝕效果又優於結晶相。