Abstract
摘要 由於目前能源短缺的問題日趨嚴重，因此大家都積極在尋找替代能源的方法，熱電效應即為最簡單而直接的能源轉換。由於之前熱電轉換效率不彰，因此並未廣泛應用於生活當中。然而近幾年隨著奈米尺度的效應，使得熱電元件轉換效率有顯著的提升。而本文即為研究奈米間隙之熱電元件。使用電子束微影以及電子槍鍍膜系統來製作奈米間隙之熱電元件，以四點量測之方法配合奈伏特計與奈微電流源來量測熱電效應之參數。 實驗中發現，金奈米間隙越小熱電效應越顯著。量測奈米間隙為 52 nm 之Seebeck 係數高達 -15.8 mV/K. 當比較不同材料金(Au)與鎳鐵(NiFe)時，鎳鐵熱電效應較顯著，推測為功函數較小所致。倘若奈米間隙薄膜為氧化鋅(ZnO)亦會明顯地增加熱電效應。