Abstract
利用具有相同結構，但為不同材料組成的雙氧化物來製作超晶格（Superlattice）結構，出現奇特且異於個別材料在巨觀尺度上的性質，已經引起廣泛研究。如利用應變造成鐵電性質的增強、磁性離子在結構中排列序化而產生鐵磁性等。另外在高溫超導層狀氧化物被發現時，其中發現其結構可視為導電層與絕緣層的交替週期的延伸，使得部分學者開始對以超晶格發展超導性感到興趣。因此，本實驗主要利用RuO2氧化物具有異於氧化物的導電性，以及選用與其結構上匹配的TiO2絕緣氧化物，藉由超晶格的製作，探討其二維結構性質。 實驗結果發現，TiO2與RuO2以最佳條件下鍍覆在Sapphire（0001）單晶基板上，呈現幾十奈米大小的橢圓晶粒，造成表面粗糙度不佳，而無法在Sapphire上進行超晶格薄膜鍍製。即使選用看似與RuO2匹配性較佳的MgO（100）單晶基板上，在進行每層約2.5nm大小的超晶格薄膜鍍製後，也呈現膜層間界面模糊不清的情況，顯示RuO2與TiO2超晶格薄膜也無法鍍覆在MgO基板上。 採用直接將TiO2鍍覆在RuO2單晶一維奈米柱上，發現其TiO2是以磊晶（Epitaxy）的方式鍍覆在RuO2奈米柱，並且由EDS成分分析，證實RuO2與TiO2的確在低溫下為互不相溶氧化物。此外，奈米柱發現到有彎曲現象，推測為兩者間熱膨脹係數的差異所致。