Abstract
本實驗試圖在TiO2中添加MnCO3,NiO和CuO三種成分,尋找出各成份之間最適當的比例,期望能夠找出既能夠低溫燒結(要小於銀的熔點約9620C),又有不錯的介電常數和低介電損失的粉末,介電常數希望能盡量保持TiO2原有的介電常數約100(在1MHz),而介電損失要小於0.5%。發現MnO-NiO-CuO+TiO2的燒結緻密情形中 Rutile大於Anatase;在固定溫度下,隨助燒劑的增加,試片密度跟著下降;在9000C約添加5wt%的Mn、Ni和Cu的助燒劑就能燒結緻密(理論密度高於95%);在固定的助燒劑添加量下,隨助燒劑中CuO的增加,試片密度跟著下降,而MnO和NiO的增加會使相對密度下降;試片會緻密是因為CuO 和TiO2產生化學形成液相,藉由液相燒結使TiO2緻密;找出在875?9500C1MHz下,DF<0.5%且k約70?95的粉末組成成分。以900℃為例tanδ低於0.5%且介電常數最高的分佈在MNC(6:6:88)、MNC(13.6:13.6:72.8)和MNC(9:21:68)的範圍內介電常數約95,在875℃時tanδ低於0.5%且介電常數最高的也分佈在相同範圍介電常數約86?91。